[发明专利]成形装置和物品制造方法在审
| 申请号： | 202210471615.7 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN115308991A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 佐藤贵洋 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军;高华丽 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种成形装置和物品制造方法。一种成形装置使用模具对可成形材料进行成形，该模具包括与基板上的可成形材料接触的接触区域。该装置包括控制器，其被构造为进行使接触区域与基板上的可成形材料彼此接触的处理。控制器控制所述处理，以使模具和基板以第一相对速度彼此靠近，然后使模具和基板以低于第一相对速度的第二相对速度彼此靠近，并且控制器控制从第一相对速度到第二相对速度的切换，以补偿模具的制造误差。 | ||
| 搜索关键词： | 成形 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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