[发明专利]成形装置和物品制造方法

权利要求书

1.一种成形装置，其使用模具对可成形材料进行成形，所述模具包括与基板上的可成形材料接触的接触区域，所述成形装置包括：

控制器，其被构造为进行使接触区域与基板上的可成形材料彼此接触的处理，

其中，

控制器控制所述处理，以使模具和基板以第一相对速度彼此靠近，然后使模具和基板以低于第一相对速度的第二相对速度彼此靠近，并且

控制器控制从第一相对速度到第二相对速度的切换，以补偿模具的制造误差。

2.根据权利要求1所述的成形装置，所述成形装置还包括：

测量设备，其被构造为测量模具的接触区域的高度位置，

其中，控制器基于测量设备的测量结果来控制从第一相对速度到第二相对速度的切换。

3.根据权利要求2所述的成形装置，其中，控制器基于由测量设备测量的模具的接触区域的高度位置与由测量设备测量的、制造误差已知的基准模具的接触区域的高度位置之间的差，控制从第一相对速度到第二相对速度的切换。

4.根据权利要求2所述的成形装置，所述成形装置还包括：

变形设备，其被构造为通过向模具的接触区域的相对侧的空间施加压力，将模具变形为朝向基板的凸形，

其中，控制器在通过变形设备控制模具的变形的同时进行所述处理。

5.根据权利要求4所述的成形装置，其中，控制器基于使用测量设备获得的由变形设备产生的模具的变形量与使用测量设备获得的由变形设备产生的、制造误差已知的基准模具的变形量之间的差，控制从第一相对速度到第二相对速度的切换。

6.根据权利要求5所述的成形装置，其中，控制器基于预先获得的、压力与变形设备对多个模具中的各模具产生的变形量之间的关系，控制从第一相对速度到第二相对速度的切换。

7.根据权利要求1所述的成形装置，其中，接触区域包括要转印到基板上的可成形材料的图案，并且

成形装置包括压印装置，所述压印装置使模具的接触区域与用作基板上的可成形材料的压印材料彼此接触，以将图案转印到压印材料。

8.根据权利要求1所述的成形装置，其中，接触区域是平坦化表面，并且

成形装置包括平坦化装置，所述平坦化装置通过使模具的平坦化表面与基板上的可成形材料彼此接触，对由基板上的可成形材料制成的平坦化膜进行成形。

9.一种物品制造方法，其包括：

使用权利要求1至8中任一项所限定的成形装置对基板上的可成形材料进行成形；以及

对经过成形的基板进行处理，

其中，由经过处理的基材来制造物品。