[发明专利]成形装置和物品制造方法

说明书

本发明提供一种成形装置和物品制造方法。一种成形装置使用模具对可成形材料进行成形，该模具包括与基板上的可成形材料接触的接触区域。该装置包括控制器，其被构造为进行使接触区域与基板上的可成形材料彼此接触的处理。控制器控制所述处理，以使模具和基板以第一相对速度彼此靠近，然后使模具和基板以低于第一相对速度的第二相对速度彼此靠近，并且控制器控制从第一相对速度到第二相对速度的切换，以补偿模具的制造误差。

技术领域

本发明涉及成形装置和物品制造方法。

背景技术

压印装置已作为用于半导体器件等的大规模生产光刻装置之一投入使用。压印装置在压印材料与模具接触的状态下将供给到基板上的压印材料固化并将模具与固化的压印材料分离，从而在基板上形成压印材料的图案。目前，压印装置需要进一步提高产量。

日本专利第5745129号公开了用于提高产量的模具的驱动控制。在日本专利第5745129号中，在模具与压印材料接触之前，模具被高速驱动，之后当压印材料填充到模具的图案表面中时，模具被低速驱动。

日本专利第5824380号描述了当基板上的压印材料填充到模具的图案表面中时，基于具有制造误差和尺寸误差的模具的厚度信息，控制施加到模具的力，以使模具的图案表面成为目标形状。

如日本专利第5824380号中所述，模具具有制造误差和尺寸误差。因此，由于模具的厚度和膨胀量的个体差异，模具与基板之间的距离会出现误差。然后，如日本专利第5745129号所述，当高速驱动模具直到模具与压印材料接触时，模具会与基板高速碰撞并被损坏。相反，模具的图案表面与压印材料之间的接触会不足，导致填充缓慢和产量下降。

发明内容

本发明提供了一种有利于实现模具的产量和可维护性两者的技术。

本发明的第一方面提供一种成形装置，该成形装置使用模具对可成形材料进行成形，该模具包括与基板上的可成形材料接触的接触区域，该装置包括控制器，其被构造为进行使接触区域与基板上的可成形材料彼此接触的处理，其中，该控制器控制所述处理，以使模具和基板以第一相对速度彼此靠近，然后使模具和基板以低于第一相对速度的第二相对速度彼此靠近，并且，该控制器控制从第一相对速度到第二相对速度的切换，以补偿模具的制造误差。

本发明的第二方面提供一种物品制造方法，该物品制造方法包括：使用根据第一方面的成形装置对基板上的可成形材料进行成形；以及对经过成形的基板进行处理，其中，由经过处理的基板来制造物品。

根据以下(参照附图)对示例性实施例的描述()，本发明的其他特征将变得显而易见。

附图说明

图1是示出压印装置的布置的图；

图2是示出模具驱动器的布置的图；

图3A和图3B是示出模具的结构的图；

图4A和图4B是用于说明测量模具的膨胀量的方法的图；

图5A至图5C是用于说明获得模具驱动器的基准驱动量的过程的图；

图6A至图6C是用于说明在使用比基准模具薄的模具的情况下的不良影响的图。

图7A至图7C是用于说明在使用膨胀量大于基准模具的膨胀量的模具的情况下的不良影响的图；

图8A和图8B是用于说明掩模的膨胀量的特性的曲线图；

图9A至图9C是用于说明对模具驱动器的驱动量进行校正的方法的曲线图；

图10A至图10C是用于说明对模具驱动器的驱动量进行校正的方法的曲线图；以及

图11是示例性地示出物品制造方法的图。

具体实施方式