[发明专利]加工物体的方法、计算机程序产品及材料加工装置在审
| 申请号： | 202210469278.8 | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN115248145A | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | F.佩雷斯威拉德 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N23/2202;H01J37/295 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于借助材料加工装置对物体进行加工的方法，该材料加工装置具有粒子辐射设备。该方法包括以下步骤：在物体的第一材料区域上或该第一材料区域中确定物体的感兴趣区域；借助于削磨装置削磨与第一材料区域邻接的第二材料区域的材料；识别第一材料区域的几何形状，其中几何形状具有中心；借助于粒子射束削磨第一材料区域的与第一分区域邻接的第二分区域的材料，其中第一分区域具有第一子区域和第二子区域，其中感兴趣区域布置在第一子区域中；识别第一材料区域的另外的几何形状，其中另外的几何形状具有处于第二位置的另外的中心，将物体相对定位成使得第一位置与第二位置相一致；以及借助于粒子射束削磨第二子区域的材料。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 物体 方法 计算机 程序 产品 材料 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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