[发明专利]预湿模块、脱气液循环系统和预湿方法在审
| 申请号： | 202210460141.6 | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN114752976A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 关正也;矢作光敏;山田展也 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D5/00 | 分类号： | C25D5/00;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张丰桥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供对基板高效地进行前置处理的预湿模块、脱气液循环系统和预湿方法。预湿模块(200)包括：脱气槽(210)，其收容脱气液；处理装置(258)，其包括喷嘴(268)，其对被处理面向上的基板的被处理面供给清洗液；基板保持架(220)，其具有配置于脱气槽与处理装置之间且保持第1基板的第1保持构件(222)和保持第2基板的第2保持构件(224)；以及驱动机构(230)，其使基板保持架旋转和升降，驱动机构(230)包括：旋转机构(240)，其使基板保持架在使第1基板的被处理面与脱气槽内的脱气液相向的第1状态和使第2基板的被处理面与脱气槽内的脱气液相向的第2状态之间旋转；和升降机构(248)，其使基板保持架升降。 | ||
| 搜索关键词： | 模块 脱气 循环系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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