[发明专利]一种碳化硅纤维的合成方法及应用在审
申请号: | 202210458294.7 | 申请日: | 2022-04-28 |
公开(公告)号: | CN114735703A | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 陈豆;马远;潘尧波 | 申请(专利权)人: | 中电化合物半导体有限公司 |
主分类号: | C01B32/97 | 分类号: | C01B32/97;C30B29/36;C30B23/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 王积毅 |
地址: | 315336 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提出了一种碳化硅纤维的合成方法及应用,所述合成方法至少包括以下步骤:将硅源放置于坩埚内;将石墨板放置于所述坩埚内,且所述石墨板底部与所述硅源有预设距离;将碳纤维放置于所述石墨板表面;将所述坩埚放入炉腔内,进行升温加热;以及将所述坩埚降温,获取所述碳化硅纤维。本发明提供的一种碳化硅纤维的合成方法及应用,能有效提高碳化硅晶体的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 纤维 合成 方法 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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