[发明专利]一种掩模板框架、掩模板组件及掩模板张网方法在审
| 申请号： | 202210447200.6 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114892127A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 刘华猛;白珊珊;李彦松 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种掩模板框架、掩模板组件及掩模板张网方法，属于掩模板技术领域，包括：框架主体；包括第一边梁、第二边梁、第三边梁和第四边梁，第一边梁、第二边梁、第三边梁和第四边梁相连并围成安装区域；第一边梁和第三边梁在第一方向相对设置，第二边梁和第四边梁在第二方向相对设置；其中，第一边梁的中间部位在第一方向上的尺寸大于第一边梁的两端部位在第一方向上的尺寸；第三边梁的中间部位在第一方向上的尺寸大于第三边梁的两端部位在第一方向上的尺寸。通过本申请实施例提供的一种掩模板框架、掩模板组件及掩模板张网方法，可以减小垂直蒸镀时掩模板框架的下垂，提高蒸镀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模板 框架 组件 方法 | ||
【主权项】：
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