[发明专利]一种掩模板框架、掩模板组件及掩模板张网方法

权利要求书

1.一种掩模板框架，其特征在于，包括：

框架主体；包括第一边梁、第二边梁、第三边梁和第四边梁，所述第一边梁、第二边梁、第三边梁和第四边梁相连并围成安装区域；所述第一边梁和所述第三边梁在第一方向相对设置，所述第二边梁和所述第四边梁在第二方向相对设置；

其中，所述第一边梁的中间部位在所述第一方向上的尺寸大于所述第一边梁的两端部位在所述第一方向上的尺寸；

所述第三边梁的中间部位在所述第一方向上的尺寸大于所述第三边梁的两端部位在所述第一方向上的尺寸。

2.根据权利要求1所述的掩模板框架，其特征在于：

所述第一边梁和/或所述第三边梁远离所述安装区域的侧边为圆弧，所述圆弧的圆心角为大于或等于5°，且小于或等于60°。

3.根据权利要求1所述的掩模板框架，其特征在于：

所述第一边梁和/或所述第三边梁远离所述安装区域的侧边为凸多边形，所述凸多边形的顶角为大于或等于120°，且小于或等于170°。

4.根据权利要求1所述的掩模板框架，其特征在于：

所述第一边梁与所述第二边梁连接的位置、以及所述第一边梁与所述第四边梁连接的位置设置有加强部；

所述加强部在所述二方向上的尺寸大于所述第二边梁和第四边梁在所述第二方向上的尺寸。

5.根据权利要求1所述的掩模板框架，其特征在于：

所述第一边梁的两端且靠近所述安装区域的位置设置有第一定位孔；

所述第三边梁的两端且靠近所述安装区域的位置设置有第二定位孔。

6.根据权利要求5所述的掩模板框架，其特征在于：

所述第一边梁和所述第三边梁上均设置有多个限位部；

多个所述限位部在所述第一边梁上位于两个所述第一定位孔之间；

多个所述限位部在所述第三边梁上位于两个所述第二定位孔之间；

且所述第一边梁上的多个所述限位部与所述第三边梁上的多个所述限位部一一对应。

7.根据权利要求1所述的掩模板框架，其特征在于：

所述框架主体包括支撑面和背面，所述支撑面为用于支撑掩模板的一面，所述背面为背离于所述支撑面的一面；

所述框架主体的背面上设置有多个气浮槽。

8.一种掩模板组件，其特征在于：

包括至少一个掩模板以及如权利要求1-7任一项所述的掩模板框架；

所述至少一个掩模板位于所述安装区域内，且与所述框架主体固定连接。

9.根据权利要求8所述的掩模板组件，其特征在于：

所述至少一个掩模板包括第一掩模板和第二掩模板；所述第二掩模板叠放于所述第一掩模板背离所述掩模板框架的一侧；

所述第一掩模板为全面掩模板，所述第二掩模板为高精度掩模板。

10.一种掩模板张网方法，其特征在于，所述掩模板张网方法包括：

提供掩模板以及权利要求1-7任一项所述的掩模板框架；

将所述掩模板固定到所述掩模板框架上。

11.根据权利要求10所述的掩模板张网方法，其特征在于，所述掩模板包括多个掩模条，将所述掩模板固定到所述掩模板框架上的步骤包括：

将各所述掩膜条固定到所述掩模板框架上；其中，多个所述掩膜条沿所述第二方向依次排布；各所述掩膜条在所述掩模板框架上的固定位置，沿所述第三边梁朝向所述第一边梁的方向偏移，且各所述掩膜条的偏移量，由所述第一边梁中间部位到所述第一边梁两端部位逐渐减小。