[发明专利]薄膜厚度测量方法、装置、设备和计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 202210445225.2 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114935313B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 邹志刚;方立平;涂文广;朱熹 | 申请（专利权）人： | 香港中文大学（深圳） |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 张思佳 |
| 地址： | 518172 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种薄膜厚度测量方法、装置、设备和计算机可读存储介质，待测薄膜开设有小孔，并将待测薄膜夹设于第一红外窗口片与第二红外窗口片之间，使得第一红外窗口片与第二红外窗口片之间的距离与待测薄膜的厚度一致。首先控制红外光源透过第一红外窗口片，向待测薄膜的小孔射入红外光，之后该红外光通过第二红窗口片射出，并对射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。最终结合实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到待测薄膜的厚度。结合傅里叶变换红外光谱分析，实现待测薄膜的厚度测量，红外光从待测薄膜的小孔入射，避免薄膜的折射率对测量产生影响，具有测量可靠性强的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 测量方法 装置 设备 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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