[发明专利]薄膜厚度测量方法、装置、设备和计算机可读存储介质

说明书

本申请涉及一种薄膜厚度测量方法、装置、设备和计算机可读存储介质，待测薄膜开设有小孔，并将待测薄膜夹设于第一红外窗口片与第二红外窗口片之间，使得第一红外窗口片与第二红外窗口片之间的距离与待测薄膜的厚度一致。首先控制红外光源透过第一红外窗口片，向待测薄膜的小孔射入红外光，之后该红外光通过第二红窗口片射出，并对射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。最终结合实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到待测薄膜的厚度。结合傅里叶变换红外光谱分析，实现待测薄膜的厚度测量，红外光从待测薄膜的小孔入射，避免薄膜的折射率对测量产生影响，具有测量可靠性强的优点。

技术领域

本申请涉及红外测量技术领域，特别是涉及一种薄膜厚度测量方法、装置、设备和计算机可读存储介质。

背景技术

薄膜也即薄膜材料，是指厚度介于单原子到几毫米间的薄金属或有机物层，薄膜的物理厚度测量技术在电子、光电和塑料薄膜等技术领域具有重要意义。

薄膜厚度测量方法包括机械接触测量法和光学测量法，由于机械接触测量法的测量误差较大，通常采用光学测量法进行测量。然而，光学测量法（例如椭圆偏振光谱技术）容易因为薄膜的折射率不同，对测量结果产生较大的影响。因此，传统的薄膜厚度测量方法存在测量可靠性差的问题。

发明内容

基于此，有必要提供一种薄膜厚度测量方法、装置、设备和计算机可读存储介质，以解决薄膜厚度测量可靠性差的问题。

第一方面，本申请提供一种薄膜厚度测量方法，待测薄膜开设有小孔，且所述待测薄膜夹设于第一红外窗口片和第二红外窗口片之间，所述方法包括：

控制红外光源输出依次经过所述第一红外窗口片、所述小孔和所述第二红外窗口片的红外光；对从所述第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱；根据所述实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到所述待测薄膜的厚度。

上述薄膜厚度测量方法，待测薄膜开设有小孔，并将待测薄膜夹设于第一红外窗口片与第二红外窗口片之间，使得第一红外窗口片与第二红外窗口片之间的距离与待测薄膜的厚度一致。在进行测量时，首先控制红外光源透过第一红外窗口片，向待测薄膜的小孔射入红外光，之后该红外光通过第二红窗口片射出，并对射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。最终结合实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到待测薄膜的厚度。上述方案，结合傅里叶变换红外光谱分析，实现待测薄膜的厚度测量，红外光从待测薄膜的小孔入射，避免薄膜的折射率对测量产生影响，具有测量可靠性强的优点。

在一些实施例中，所述对从所述第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱的步骤，包括：获取不同波长的红外光入射所述待测薄膜的小孔后，从所述第二红外窗口片射出的红外光信号；根据各所述红外光信号进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。

在一些实施例中，所述根据各所述红外光信号进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱的步骤，包括：分别对各所述红外光信号分别进行傅里叶变换，得到对应的实际透过率；根据各所述实际透过率和对应红外光的波长，得到实际红外光谱。

在一些实施例中，所述根据所述实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到所述待测薄膜的厚度的步骤之前，还包括：根据不同红外光的波长、红外窗口片折射率、预估薄膜厚度和预设透过率计算模型，得到不同红外光对应的理论透过率；根据各所述理论透过率和对应的波长，得到预设理论红外光谱。

在一些实施例中，所述预设透过率计算模型为：，其中，，为波长，为预估薄膜厚度，为红外窗口片折射率，为理论透过率。