[发明专利]薄膜厚度测量方法、装置、设备和计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种薄膜厚度测量方法，其特征在于，待测薄膜开设有小孔，且所述待测薄膜夹设于第一红外窗口片和第二红外窗口片之间，所述方法包括：

控制红外光源输出依次经过所述第一红外窗口片、所述小孔和所述第二红外窗口片的红外光；

对从所述第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱；

根据不同红外光的波长、红外窗口片折射率、预估薄膜厚度和预设透过率计算模型，得到不同红外光对应的理论透过率；

根据各所述理论透过率和对应的波长，得到预设理论红外光谱；

判断预设理论红外光谱与所述实际红外光谱是否一致；

若预设理论红外光谱与所述实际红外光谱不一致，则调整所述预估薄膜厚度，得到调整后的预设理论红外光谱，并返回所述判断预设理论红外光谱与所述实际红外光谱是否一致的步骤；

若预设理论红外光谱与所述实际红外光谱一致，则将当前预设理论红外光谱对应的预估薄膜厚度作为所述待测薄膜的厚度；

其中，所述预设透过率计算模型为：，，为波长，为预估薄膜厚度，为红外窗口片折射率，为理论透过率。

2.根据权利要求1所述的薄膜厚度测量方法，其特征在于，所述对从所述第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱的步骤，包括：

获取不同波长的红外光入射所述待测薄膜的小孔后，从所述第二红外窗口片射出的红外光信号；

根据各所述红外光信号进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。

3.根据权利要求2所述的薄膜厚度测量方法，其特征在于，所述根据各所述红外光信号进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱的步骤，包括：

分别对各所述红外光信号分别进行傅里叶变换，得到对应的实际透过率；

根据各所述实际透过率和对应红外光的波长，得到实际红外光谱。

4.一种薄膜厚度测量装置，其特征在于，待测薄膜开设有小孔，且所述待测薄膜夹设于第一红外窗口片和第二红外窗口片之间，包括：

红外光输出控制模块，用于控制红外光源输出依次经过所述第一红外窗口片、所述小孔和所述第二红外窗口片的红外光；

光谱分析模块，用于对从所述第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱；

预设理论红外光谱计算模块，用于根据不同红外光的波长、红外窗口片折射率、预估薄膜厚度和预设透过率计算模型，得到不同红外光对应的理论透过率；根据各所述理论透过率和对应的波长，得到预设理论红外光谱；

厚度拟合模块，用于判断预设理论红外光谱与所述实际红外光谱是否一致；若预设理论红外光谱与所述实际红外光谱不一致，则调整所述预估薄膜厚度，得到调整后的预设理论红外光谱，并返回所述判断预设理论红外光谱与所述实际红外光谱是否一致的步骤；若预设理论红外光谱与所述实际红外光谱一致，则将当前预设理论红外光谱对应的预估薄膜厚度作为所述待测薄膜的厚度；

其中，所述预设透过率计算模型为：，，为波长，为预估薄膜厚度，为红外窗口片折射率，为理论透过率。

5.一种薄膜厚度测量设备，其特征在于，包括第一红外窗口片、第二红外窗口片、红外光源、红外光探测器、存储器和处理器，所述红外光源和所述红外光探测器分别连接所述处理器，所述存储器连接所述处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至3中任一项所述薄膜厚度测量方法的步骤。

6.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至3中任一项所述薄膜厚度测量方法的步骤。