[发明专利]一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法在审
| 申请号： | 202210434915.8 | 申请日： | 2022-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN114910668A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 郭颖;夏德铸;张徐开;王佳丽;赵兴强;严飞 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01Q10/00 | 分类号： | G01Q10/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈国强 |
| 地址： | 210000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法，该方法依然保留传统的逐行扫描方式，通过变速扫描的方法实现漂移过程中原子行的弯曲，从而矫正扫描图像。该方法摒弃了复杂的螺旋扫描方式，控制信号更加简单，扫描方式更加多样，后期矫正也更加方便。相对于传统标定显微镜的方式，其优点为：不需要显微镜标定，不需要更换样品，只需要一次性扫描完成，后期就可以对图像去除畸变。对于不同环境，显微镜漂移速度也不同，本发明也只需要一次性扫描成像即可。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 探针 显微镜 畸变 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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