[发明专利]一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法

权利要求书

1.一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、对样品进行逐行扫描，扫描速度设置为v_n+1＝xv_n，x是速度变化的系数，设置为不等于1的正数，v_n是第n行的扫描速度，即下一行的扫描速度为上一行的x倍，执行步骤二；或者

将样品的扫描区域横向分割为两部分，区域一s₁和区域二s₂，区域一s₁扫描速度恒定为v₁，区域二s₂扫描速度恒定为v₂，其中v₁大于v₂，v₁大于20行每秒，区域一s₁面积占整个扫描区域的1/10-1/5，执行步骤四；

步骤二、扫描得到变速扫描图，观察原子间距的纵向分量是否相等，若相等，则将变速扫描图作为中间扫描图，若不相等，则对变速扫描图进行纵向矫正后得到中间扫描图，执行步骤三；

步骤三、判断是否存在横向漂移，若不存在横向漂移，将中间扫描图作为矫正后的图像，若弯曲，若存在横向漂移，则将中间扫描图横向矫正后得到矫正后的图像，矫正后的图像即为最终的无畸变图像，结束；

步骤四、观察区域二s₂中原子间距的纵向分量是否与区域一s₁中的相等，若相等，则将扫描图中区域二s₂部分的扫描图像作为中间扫描图，若不相等，则对s₂区域图像纵向矫正后得到中间扫描图，执行步骤五；

步骤五、观察区域二s₂中原子行是否弯曲，若不弯曲，则将中间扫描图作为矫正后的图像，若弯曲，则将中间扫描图横向矫正后得到矫正后的图像，矫正后的图像即为最终的无畸变图像，结束。

2.根据权利要求1所述的一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法，其特征在于，所述步骤二中，若原子间距的纵向分量不相等，则以纵向分量中的最小值为基准进行纵向矫正。

3.根据权利要求2所述的一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法，其特征在于，所述步骤三中，判断是否存在横向漂移时，观察原子行是否弯曲，若不存在弯曲，则不存在横向漂移，若存在弯曲，则存在横向漂移，以原子行弧线扫描时速度最快的点做切线，将整个图像从弧线拉伸为切线。

4.根据权利要求1所述的一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法，其特征在于，所述步骤四中，以区域一s₁的扫描图像中的纵向分量为基准，矫正区域二s₂的扫描图像。

5.根据权利要求4所述的一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法，其特征在于，所述步骤五中，以区域一s₁的扫描图像中的原子行直线L1为基准，将区域二s₂的扫描图像中的原子行直线L2拉伸为与L1平行，去除横向畸变。