[发明专利]一种阶梯型FLR超级结功率器件终端结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202210422233.5 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN114864660A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 汤晓燕;刘延聪;宋庆文;张玉明;袁昊;何艳静;周瑜;许允亮 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/20;H01L21/265 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型阶梯型FLR超级结功率器件终端结构，包括衬底层以及位于衬底层上的第一导电类型外延层，外延层内形成有有源区和位于有源区外围的终端区，其中，外延层的终端区包括多层外延结构，每层外延结构中均设有一个FLR区，且每层外延结构中的FLR区长度自下而上依次增加，以形成自左下方至右上方的阶梯型FLR终端；最顶层的FLR区上方还形成有表面终端区。本发明通过多层外延生长方式同时在器件有源区和终端区内分别形成了超级结结构和阶梯型FLR终端结构，该终端结构简单，易于实现，既减小了注入损伤，同时降低了工艺复杂度，有助于提升器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阶梯 flr 超级 功率 器件 终端 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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