[发明专利]一种图案化石墨烯的制备方法在审
| 申请号： | 202210420918.6 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN114890409A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 陈成;王佳伟;刁东风 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C01B32/184 | 分类号： | C01B32/184 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 刘芙蓉;李晓凤 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种图案化石墨烯的制备方法，包括步骤：提供表面上设置有聚合物薄膜的基片；将表面上设置有聚合物薄膜的基片放置于电子回旋共振等离子体纳米表面加工系统的真空腔室中，在聚合物薄膜表面上覆盖具有预设图案的掩模板，进行电子照射后，得到图案化石墨烯。本发明利用电子回旋共振等离子体纳米表面加工系统进行低能电子照射，暴露在掩模板图案中的聚合物薄膜经电子照射直接转化为石墨烯纳晶结构；同时在电子照射过程中当基片温度超过聚合物的热分解温度时，会使得被掩模板遮挡部分的聚合物薄膜完全分解气化，得到图案化石墨烯。本发明提供的方法可一步制备得到图案化石墨烯，制备周期短且可有效避免使用有机物清洗对石墨烯的破环与污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图案 化石 制备 方法 | ||
【主权项】：
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