[发明专利]一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备

摘要

本发明涉及蒸镀技术领域，且公开了一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，包括蒸镀箱，所述蒸镀箱的内底壁上设置有蒸镀源，所述蒸镀箱的内部转动设置有转动盘，所述转动盘底部的边缘处固定安装有竖筒，所述竖筒的内壁相对设置有两个第二锥齿轮，两个所述第二锥齿轮之间可拆卸安装有装载板，所述装载板上设置有基板；通过蒸镀源对装载板上的基板进行镀膜，需要双面镀膜时，控制驱动电机运行即可，驱动电机运行一方面能够使装载板绕着竖轴旋转，使各个基板镀膜更加的均匀，另一方面也能够使装载板在两个第二锥齿轮之间旋转，达到自动翻面的效果，能够自动对基板的另一面进行镀膜，镀膜效果更好。