[发明专利]一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备

权利要求书

1.一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，包括蒸镀箱(1)，所述蒸镀箱(1)的内底壁上设置有蒸镀源(18)，其特征在于：所述蒸镀箱(1)的内部转动设置有转动盘(6)，所述转动盘(6)底部的边缘处固定安装有竖筒(7)，所述竖筒(7)的内壁相对设置有两个第二锥齿轮(14)，两个所述第二锥齿轮(14)之间可拆卸安装有装载板(15)，所述装载板(15)上设置有基板(17)；

设置在蒸镀箱(1)与第二锥齿轮(14)之间的驱动机构，当转动盘(6)和竖筒(7)在蒸镀箱(1)内旋转时，能够同时通过两个第二锥齿轮(14)带动装载板(15)和基板(17)旋转。

2.根据权利要求1所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述转动盘(6)顶部的中心处固定安装有竖轴(5)，所述竖轴(5)的顶端延伸至蒸镀箱(1)的外部并固定连接有从动轮(4)，所述从动轮(4)的外壁啮合有主动轮(3)，所述主动轮(3)固定安装在驱动电机(2)的输出轴顶部，所述驱动电机(2)固定安装在蒸镀箱(1)的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述驱动机构包括齿轮(9)、转动杆(11)和第一锥齿轮(13)，所述转动盘(6)左右两侧的边缘处均开设有侧槽(8)，两个所述侧槽(8)的内部均转动设置有齿轮(9)，两个所述齿轮(9)的中心处均固定安装有转动杆(11)，两个所述转动杆(11)的底端均固定安装有第一锥齿轮(13)，两个所述第一锥齿轮(13)与两个所述第二锥齿轮(14)之间一一对应相啮合。

4.根据权利要求3所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述竖筒(7)上相对开设有两个活动槽(12)，两个所述第一锥齿轮(13)分别活动设置在两个活动槽(12)内。

5.根据权利要求3所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀箱(1)的内壁固定安装有齿环(10)，两个所述齿轮(9)均与齿环(10)相啮合。

6.根据权利要求1所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述装载板(15)上均匀开设有若干个装载槽(16)，若干个所述装载槽(16)内均设置有基板(17)。

7.根据权利要求6所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述装载板(15)的内部还开设有内腔(19)，所述内腔(19)内上下滑动设置有活动板(23)，所述活动板(23)上均匀设置有若干个顶柱(24)；

所述装载槽(16)与内腔(19)之间贯通开设有柱槽(25)，若干个所述顶柱(24)一一对应分别插设在若干个柱槽(25)内。

8.根据权利要求7所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述活动板(23)上设置有丝母(22)，所述丝母(22)的内壁螺纹连接有丝杆(20)，所述丝杆(20)的一端转动设置在内腔(19)的内壁上，所述丝杆(20)的另一端延伸至内腔(19)的外部并固定连接有旋钮(21)。

9.根据权利要求7所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述活动板(23)顶部的左右两端还固定安装有具有倾斜面的推板(26)，所述推板(26)的倾斜面上活动设置有插柱(27)，所述插柱(27)活动设置在柱腔(28)内，所述柱腔(28)开设在装载板(15)内；

所述插柱(27)的外壁固定安装有压板(29)，所述压板(29)与柱腔(28)的内侧壁之间设置有弹簧(30)。

10.根据权利要求9所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述插柱(27)朝外的一端延伸至柱腔(28)的外部并形成有横截面是矩形的卡头(31)，所述卡头(31)卡设在卡槽(32)内，所述卡槽(32)开设在第二锥齿轮(14)的中心处。