[发明专利]一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备

说明书

本发明涉及蒸镀技术领域，且公开了一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，包括蒸镀箱，所述蒸镀箱的内底壁上设置有蒸镀源，所述蒸镀箱的内部转动设置有转动盘，所述转动盘底部的边缘处固定安装有竖筒，所述竖筒的内壁相对设置有两个第二锥齿轮，两个所述第二锥齿轮之间可拆卸安装有装载板，所述装载板上设置有基板；通过蒸镀源对装载板上的基板进行镀膜，需要双面镀膜时，控制驱动电机运行即可，驱动电机运行一方面能够使装载板绕着竖轴旋转，使各个基板镀膜更加的均匀，另一方面也能够使装载板在两个第二锥齿轮之间旋转，达到自动翻面的效果，能够自动对基板的另一面进行镀膜，镀膜效果更好。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，具体为一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备。

背景技术

真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基板表面凝聚成膜的工艺方法；蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点；

然而，在实际应用中我们发现，现有的真空镀膜设备仍然存在有一定的不足之处，比如：现有的真空镀膜设备一次仅能对基板的一面进行单面镀膜，如果需要对其进行双面镀膜，还需要取出基板进行翻面然后重新置入到真空腔室内时，非常的麻烦，镀膜效率低下；

中国专利公告号为：CN107058966B的发明专利提供了一种真空镀膜衬底底座，包括衬底托盘、转轴和传动轴，所述传动轴与旋转机构连接，所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连，所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽，所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆，所述角度调节杆一端固定在设备底座上，另一端为接触球端，所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动。本发明可以实现衬底底座的简单的类行星式转动，以使衬底底座在加工过程中能够旋转、翻转，达到改善真空镀膜工艺对非平面结构的台阶覆盖率，尤其是深孔镀膜情况下的改善深孔内壁膜厚均匀性。

上述真空镀膜衬底底座中，虽然能够改善真空镀膜工艺对非平面结构的台阶覆盖率，然而其仍未解决上述“无法双面镀膜”的问题；

基于此，我们提出了一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，具备能够对基板进行双面镀膜的优点。

(二)技术方案

为实现上述能够对基板进行双面镀膜的目的，本发明提供如下技术方案：一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，包括蒸镀箱，所述蒸镀箱的内底壁上设置有蒸镀源，所述蒸镀箱的内部转动设置有转动盘，所述转动盘底部的边缘处固定安装有竖筒，所述竖筒的内壁相对设置有两个第二锥齿轮，两个所述第二锥齿轮之间可拆卸安装有装载板，所述装载板上设置有基板；

设置在蒸镀箱与第二锥齿轮之间的驱动机构，当转动盘和竖筒在蒸镀箱内旋转时，能够同时通过两个第二锥齿轮带动装载板和基板旋转。

作为本发明的一种优选技术方案，所述转动盘顶部的中心处固定安装有竖轴，所述竖轴的顶端延伸至蒸镀箱的外部并固定连接有从动轮，所述从动轮的外壁啮合有主动轮，所述主动轮固定安装在驱动电机的输出轴顶部，所述驱动电机固定安装在蒸镀箱的顶部。

作为本发明的一种优选技术方案，所述驱动机构包括齿轮、转动杆和第一锥齿轮，所述转动盘左右两侧的边缘处均开设有侧槽，两个所述侧槽的内部均转动设置有齿轮，两个所述齿轮的中心处均固定安装有转动杆，两个所述转动杆的底端均固定安装有第一锥齿轮，两个所述第一锥齿轮与两个所述第二锥齿轮之间一一对应相啮合。

作为本发明的一种优选技术方案，所述竖筒上相对开设有两个活动槽，两个所述第一锥齿轮分别活动设置在两个活动槽内。

作为本发明的一种优选技术方案，所述蒸镀箱的内壁固定安装有齿环，两个所述齿轮均与齿环相啮合。