[发明专利]立式半导体外延石英炉管钟罩及石英件清洗机有效
| 申请号： | 202210390735.4 | 申请日： | 2022-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN114798554B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 耿彪 | 申请（专利权）人： | 北京华林嘉业科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B13/00;B08B15/02 |
| 代理公司： | 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 | 代理人： | 凌云 |
| 地址： | 101118 北京市通州*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及立式半导体外延石英炉管钟罩及石英件清洗机，包括通风柜、钟罩清洗工位，钟罩清洗工位包括机壳，机壳的内部设置有多个钟罩清洗单元、排风单元，钟罩清洗单元包括承载槽、活动式喷淋机构、排风组件、废液收集单元。本发明能够对钟罩相关的配套件以及石英件进行浸泡清洗，还能够对钟罩的内壁进行喷淋清洗，清洗效果好，清洗效率高，节省大量的清洗液；浸泡清洗以及喷淋清洗的空间布局合理，占地面积小；钟罩的进、出操作简单方便，不易发生碰损，不同高度钟罩的清洗都适应，无需更换配件，操作简单、方便。采用排风组件进行排风，使得钟罩的外壁不易被污染、损伤，延长钟罩的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 半导体 外延 石英 炉管 清洗 | ||
【主权项】：
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