[发明专利]硅片生产系统有效
| 申请号： | 202210387322.0 | 申请日： | 2022-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN114559571B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 丁海军;邢旭;兰勇刚 | 申请（专利权）人： | 乐山高测新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 | 代理人： | 宋珊珊;李瑞 |
| 地址： | 614000 四川省乐山市五*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种硅片生产系统，包括：切片机，用于将硅棒切割成硅片，并将硅片及晶托组件放置工装篮内；运输小车，用于将工装篮运送至脱胶装置；脱胶装置，内部设有用于容纳运输小车的停留空间；所述脱胶装置用于对硅片进行脱胶处理和分片处理；插洗装置，用于将经过分片处理后的硅片进行插片。本申请实施例提供的硅片生产系统能实现对硅片进行自动脱胶、擦胶和分片作业，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 生产 系统 | ||
【主权项】：
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