[发明专利]硅片生产系统

权利要求书

1.一种硅片生产系统，其特征在于，包括：

切片机，用于将硅棒切割成硅片，并将硅片及晶托组件放置工装篮内；

运输小车，用于将工装篮运送至脱胶装置；

脱胶装置，内部设有用于容纳运输小车的停留空间；所述脱胶装置设有硅片作业线，用于对硅片进行脱胶处理和分片处理；

插洗装置，用于将经过分片处理后的硅片进行插片；

所述工装篮包括：

工装架；

侧挡组件，设置于所述工装架的两侧；侧挡组件与工装架围成用于容纳硅片的容纳空间；所述侧挡组件包括：平行的第一支杆和第二支杆；

夹板组件，转动设置于所述侧挡组件上；所述夹板组件在初始状态下处于夹紧硅片的第一位置，当受到脱胶装置上的触发板施力时相对于侧挡组件转动至松开硅片的第二位置；位于工装篮两侧的触发板施力以同时松开硅片；

所述夹板组件包括：挡板和扭簧；所述扭簧的中部套设于第一支杆，扭簧的底端穿入第二支杆开设的连接孔，扭簧的顶端卡设于挡板的外侧；

所述挡板具有中间部及位于中间部顶端的夹紧部和位于中间部底端的触发部；

所述中间部设有套环，套设于第一支杆；

夹紧部从中间部的顶部向内侧弯折；

触发部从中间部的底端向外弯折；所述触发部具有连接段、支撑段和触发段；所述连接段连接至中间部的底端；支撑段沿底架板宽度方向延伸，其一端与连接段相连，另一端与触发段相连；触发段沿底架板长度方向延伸以与触发板配合。

2.根据权利要求1所述的硅片生产系统，其特征在于，还包括：

硅片转运机构，设置于脱胶装置与插洗装置之间，用于将经过分片处理后的硅片转运至插洗装置。

3.根据权利要求1所述的硅片生产系统，其特征在于，所述脱胶装置包括：

所述硅片作业线设置有脱胶工位和擦胶工位；所述脱胶工位用于对盛装在工装篮内的硅片和晶托组件进行脱胶，以使硅片与晶托组件分离；擦胶工位用于对脱胶后的硅片粘胶面进行擦拭，以去除硅片粘胶面上的残胶；

输送机械手机构，用于抓取工装篮并驱动工装篮依次移动至脱胶工位和擦胶工位。

4.根据权利要求3所述的硅片生产系统，其特征在于，所述脱胶装置还包括：

晶托回收线，与硅片作业线并排设置；所述晶托回收线旁设有厚片拆除工位；所述厚片拆除工位用于将晶托组件上粘附的厚片进行拆除；

所述输送机械手机构还用于在擦胶工位抓取脱胶完成后的粘附有厚片的晶托组件并驱动晶托组件移动至厚片拆除工位，并在厚片拆除后将晶托组件放入晶托回收线。

5.根据权利要求4所述的硅片生产系统，其特征在于，所述脱胶装置还包括：

工装篮回收线，与所述硅片作业线和晶托回收线并排设置；所述输送机械手机构还用于将硅片作业线上空的工装篮运送至工装篮回收线。

6.根据权利要求3所述的硅片生产系统，其特征在于，所述脱胶工位设有脱胶槽；脱胶槽的上方设有图像采集组件；所述图像采集组件用于在硅片从脱胶槽升起后采集硅片与晶托组件之间的图像，以根据该图像确定脱胶是否完成。

7.根据权利要求6所述的硅片生产系统，其特征在于，所述脱胶槽的上方还设有滑轨，图像采集组件滑动设置于所述滑轨上。

8.根据权利要求3所述的硅片生产系统，其特征在于，所述擦胶工位设置有中转槽；所述中转槽的旁侧设置有用于识别硅片残胶的图像采集组件及用于对硅片残胶进行擦除的擦胶机械手机构。

9.根据权利要求8所述的硅片生产系统，其特征在于，所述擦胶机械手机构包括：

擦胶机械手底座；

擦胶机械臂，转动设置于擦胶机械手底座上；所述擦胶机械臂具有至少2个自由度；

擦胶机构，设置于所述擦胶机械臂的工作端。