[发明专利]具有空腔结构的微圆环谐振器在审
| 申请号： | 202210374564.6 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN114679154A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 郑龙凯;李凤明 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工程大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02;H03H9/09 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 董玉娇 |
| 地址： | 150001 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 具有空腔结构的微圆环谐振器，属于微机电系统领域。解决了现有的微圆环式谐振器由热弹性阻尼带来的限制谐振系统品质因子(Q值)变大问题。本发明包括位于基座上的圆环谐振子、支撑结构、驱动电极和锚点桩，且圆环谐振子的外表面镀有金属导电层；圆环谐振子的内表面通过支撑结构与锚点桩固定连接，且三者共轴；沿圆环谐振子的环向延伸方向设有空腔，且该空腔位于圆环谐振子的环状本体内；多个驱动电极呈环形等间隔的均布在圆环谐振子的外侧，驱动电极用于驱动圆环谐振子工作在固有频率处。本发明主要与微机电系统中的惯性传感器配套使用。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 空腔 结构 圆环 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工程大学，未经哈尔滨工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210374564.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种发光测温材料及其制备方法
- 下一篇：一种地铁施工便于拆装的安全隔离栏
