[发明专利]具有空腔结构的微圆环谐振器在审
| 申请号： | 202210374564.6 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN114679154A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 郑龙凯;李凤明 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工程大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02;H03H9/09 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 董玉娇 |
| 地址： | 150001 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 空腔 结构 圆环 谐振器 | ||
1.具有空腔结构的微圆环谐振器，其特征在于，包括位于基座(6)上的圆环谐振子(2)、支撑结构(3)、驱动电极(4)和锚点桩(5)，且圆环谐振子(2)的外表面镀有金属导电层(1)；
圆环谐振子(2)的内表面通过支撑结构(3)与锚点桩(5)固定连接，且三者共轴；
沿圆环谐振子(2)的环向延伸方向设有空腔(7)，且该空腔(7)位于圆环谐振子(2)的环状本体内；
多个驱动电极(4)呈环形等间隔的均布在圆环谐振子(2)的外侧，驱动电极(4)用于驱动圆环谐振子(2)工作在固有频率处。
2.根据权利要求1所述的具有空腔结构的微圆环谐振器，其特征在于，空腔(7)的横截面形状为矩形或圆形。
3.根据权利要求1所述的具有空腔结构的微圆环谐振器，其特征在于，空腔(7)沿圆环谐振子(2)的环向延伸方向是贯通的，并形成环形空腔。
4.根据权利要求1所述的具有空腔结构的微圆环谐振器，其特征在于，空腔(7)的数量至少为1个；
当空腔(7)的数量为多个时，多个空腔(7)沿圆环谐振子(2)的中心环的厚度方向均匀分布。
5.根据权利要求1所述的具有空腔结构的微圆环谐振器，其特征在于，金属导电层(1)为Au镀层。
6.根据权利要求1所述的具有空腔结构的微圆环谐振器，其特征在于，圆环谐振子(2)采用石英材料制成。
7.根据权利要求1所述的具有空腔结构的微圆环谐振器，其特征在于，支撑结构(3)包括多个支撑片(3-1)，且支撑片(3-1)为弧形的条状片；
多个支撑片(3-1)设置在圆环谐振子(2)与锚点桩(5)之间，且沿周向方向上等间隔的绕锚点桩(5)均匀布设，且每个支撑片(3-1)的一个端面固定在锚点桩(5)上，该支撑片(3-1)的另一个端面固定在圆环谐振子(2)的内表面。
8.根据权利要求7所述的具有空腔结构的微圆环谐振器，其特征在于，每个支撑片(3-1)上设有镂空孔。
9.根据权利要求7所述的具有空腔结构的微圆环谐振器，其特征在于，多个支撑片(3-1)的弧顶方向相同。
10.根据权利要求1所述的具有空腔结构的微圆环谐振器，其特征在于，锚点桩(5)为圆形结构，锚点桩(5)与基座(6)为一体件。
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