[发明专利]一种MEMS超薄悬浮膜释放方法在审
| 申请号： | 202210373580.3 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN114852952A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 关一浩;雷程;梁庭;熊继军;武学占 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人： | 杨斌华 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种适用于批量化、低成本、较简便的超薄悬浮膜释放方法，属于MEMS传感器技术领域，本发明在干法刻蚀过程中通过引入贴片环，贴片环光刻胶形成台阶，使得正面保护的陪片与膜结构不直接接触，避免了之后膜分离时的外力损伤。贴片环位于晶圆一圈，属于密闭环，避免刻蚀气体进入空隙造成损伤。适用于批量化、低成本、较简便的超薄悬浮膜释放。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 超薄 悬浮 释放 方法 | ||
【主权项】：
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