[发明专利]耐腐蚀的三坐标高精密移动平台有效
| 申请号： | 202210362778.1 | 申请日： | 2022-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN114439852B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 徐进勇;彭德义;余鑫;李昕雨;王彤;贺新怡 | 申请（专利权）人： | 成都理工大学 |
| 主分类号： | F16C29/02 | 分类号： | F16C29/02;H02K7/06;B23Q1/25;B23Q5/28 |
| 代理公司： | 成都正德明志知识产权代理有限公司 51360 | 代理人： | 雷正 |
| 地址： | 610059 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，包括X向移动组件、Y向移动组件和Z向移动组件；Y向移动组件设于X向移动组件上，X向移动组件被一环形的密封带机构密封于耐腐蚀的塑料箱体内；塑料箱体的前面板上开设方形镂空，以供Y向移动组件沿X轴做往复运动；Z向移动组件设置于Y向移动组件上，且通过Y向移动组件带动Z向移动组件沿Y轴做往复运动。本发明基于X向移动组件、Y向移动组件和Z向移动组件的配合运动，可实现平台在三维方向的精密移动；除此，本发明无任何暴露的金属部件，密封性能好，能满足各种强化学腐蚀的工作环境；在选材上，本发明具有超痕量金属杂质，满足半导体、地球化学等领域超低痕量金属杂质要求。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 标高 精密 移动 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都理工大学，未经成都理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210362778.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种铸坯自稳提升装置
- 下一篇：一种基于谐振全桥的交直流变换电路和方法
