[发明专利]耐腐蚀的三坐标高精密移动平台

说明书

本发明公开了一种耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，包括X向移动组件、Y向移动组件和Z向移动组件；Y向移动组件设于X向移动组件上，X向移动组件被一环形的密封带机构密封于耐腐蚀的塑料箱体内；塑料箱体的前面板上开设方形镂空，以供Y向移动组件沿X轴做往复运动；Z向移动组件设置于Y向移动组件上，且通过Y向移动组件带动Z向移动组件沿Y轴做往复运动。本发明基于X向移动组件、Y向移动组件和Z向移动组件的配合运动，可实现平台在三维方向的精密移动；除此，本发明无任何暴露的金属部件，密封性能好，能满足各种强化学腐蚀的工作环境；在选材上，本发明具有超痕量金属杂质，满足半导体、地球化学等领域超低痕量金属杂质要求。

技术领域

本发明属于三坐标移动平台的技术领域，具体涉及一种耐腐蚀的三坐标高精密移动平台。

背景技术

三坐标高精密移动平台在自动化实验室、三维检测、三坐标加工（雕刻机、数控机床）以及其它需要三维定位领域被广泛应用。

在医疗、环境、地球化学、化学化工等自动化实验室配备自动移液、加液的设备常依赖于三坐标高精密移动平台。而上述领域，特别是化学实验室，常使用具有强烈腐蚀性的试剂，其工作环境通常有腐蚀性气体。而三坐标移动平台不可避免会使用大量的金属部件，如电机、传动轴、紧固件、轴承等。这些金属部件长期暴露于腐蚀性气体氛围中会出现腐蚀现象，从而影响三坐标移动平台的使用寿命和移动精度。另一方面，在半导体、地球化学等领域，又要求实验环境具备超痕量金属杂质；而现有的三坐标移动平台在选材上很难做到，且暴露于腐蚀性气体氛围的金属部件有被腐蚀，从而释放金属杂质的风险。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术中的上述不足，提供一种耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，以解决或改善上述的问题。

为达到上述目的，本发明采取的技术方案是：

一种耐腐蚀的三坐标高精密移动平台，其包括X向移动组件、Y向移动组件和Z向移动组件；

Y向移动组件设于X向移动组件上，X向移动组件被一环形的密封带机构密封于耐腐蚀的塑料箱体内；塑料箱体的前面板上开设方形镂空，以供Y向移动组件沿X轴做往复运动；

Z向移动组件设置于Y向移动组件上，且通过Y向移动组件带动Z向移动组件沿Y轴做往复运动。

进一步地，X向移动组件包括X向直线滑台、X向驱动电机和X向滑块； X向直线滑台固定于安装底板上，X向直线滑台上设置X向同步带，X向滑块设置于X向同步带上，X向驱动电机固定于X向直线滑台的一端，用以驱动X向同步带和X向滑块沿X轴向做往复运动。

进一步地，Y向移动组件包括Y向直线滑台、Y向固定密封盒和Y向驱动电机；Y向固定密封盒固定于X向滑块上，Y向驱动电机与Y向直线滑台上的Y向同步带连接，Y向同步带上设有Y向同步带连接压块；Y向驱动电机的出轴设置有电机防腐机构；

电机防腐机构包括堵头，堵头盖在同步带轮一端，同步带轮适配在电机出轴上，电机出轴上套设塑料防腐管，且电机出轴穿过第一骨架油封，第一骨架油封固定在Y向固定密封盒侧面的穿孔内，Y向驱动电机固定于穿孔面的外表面上。

进一步地，Y向固定密封盒为中空的六面体，其前表面与Y向滑台连接座连接，Y向固定密封盒前表面的Y向挡板与Y向滑台连接座上均开设有方形的镂空，用以过Y向直线滑台和Y向同步带；Y向固定密封盒右侧面设置有圆形过孔，围绕圆形过孔在Y向固定密封盒外表面设置有螺纹孔，用以固定Y向驱动电机。

进一步地，Z向移动组件包括Z向移动滑台、密封盒和舵机；Z向移动滑台固定于Y向同步带连接压块上，Z向移动滑台内设有Z向同步带，Z向同步带两端分别套设于Z向同步带主动轮和Z向同步带从动轮上；舵机密封于塑料盒内，舵机出轴圆口采用第二骨架油封密封，Z向同步带主动轮适配于舵机出轴上。

进一步地，塑料箱体呈长方体状，其包括前面板、安装底板、后板、左侧板、右侧板和上盖板。