[发明专利]电容容值测量装置及测量方法在审

专利信息
申请号: 202210351817.8 申请日: 2022-04-02
公开(公告)号: CN114705921A 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 王乾斌;张璇;孙腾达 申请(专利权)人: 中芯集成电路(宁波)有限公司
主分类号: G01R27/26 分类号: G01R27/26;G01R31/00;G01R15/14
代理公司: 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 代理人: 董琳
地址: 315800 浙江省宁波市北*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种电容容值测量装置及测量方法,装置包括:直流电压模块、隔离模块和测量模块;直流电压模块,用于向待测器件施加直流电压信号;隔离模块,分别与测量模块和直流电压模块连接,用于防止直流电压信号流向测量模块并防止交流测试信号流向直流电压模块;测量模块,用于测量出待测器件在不同直流电压信号下的电容容值。通过直流电压模块输出直流电压信号至待测器件,通过测量模块测量出待测器件在不同直流电压信号下的电容容值,可以测量出待测器件在施加不同直流电压信号下的电容值变化情况,同时通过隔离模块防止直流电压信号流向测量模块并防止交流测试信号流向直流电压模块,提高了测试结果的准确性。
搜索关键词: 电容 测量 装置 测量方法
【主权项】:
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