[发明专利]一种晶圆检测装置在审
| 申请号： | 202210350682.3 | 申请日： | 2022-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN114749390A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 韩志刚 | 申请（专利权）人： | 无锡光诺自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;B07C5/02;B07C5/36;B07C5/38;G01N21/95;H01L21/67;B25H7/04 |
| 代理公司： | 无锡佳信专利代理事务所(普通合伙) 32505 | 代理人： | 李秀琴 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆检测装置，包括底座及分别设置在底座上的检测位滑轨一、检测位取放料滑轨、方向检测架和打点架；检测位滑轨一上固定设置检测位移动气缸一；检测位滑轨一和检测位取放料滑轨间滑动设置放置座一；检测位移动气缸一和放置座一连接；放置座一上设置放料装置一，用于放置晶圆，并对晶圆进行转动定位；检测位取放料滑轨一侧设置取放料装置一，用于从晶圆盒取晶圆并将晶圆放置到放置装置一中或从放置装置一取晶圆并将晶圆放置到晶圆盒中；方向检测架一侧上设置方向检测相机一；方向检测架另一侧上设置缺陷检测相机；打点架上设置打点机。本发明具有方便检测晶圆缺陷及对检测缺陷进行打点标记，提高生产效率等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 | ||
【主权项】：
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