[发明专利]一种晶圆检测装置

权利要求书

1.一种晶圆检测装置，其特征在于：包括底座(1)及分别设置在底座(1)上的检测位滑轨一(34)、检测位取放料滑轨(33)、方向检测架(6)和打点架(23)；在所述检测位滑轨一(34)上固定设置检测位移动气缸一(4)；在所述检测位滑轨一(34)和检测位取放料滑轨(33)间滑动设置放置座一(3)；所述检测位移动气缸一(4)和所述放置座一(3)连接，驱动放置座一(3)在检测位滑轨一(34)和检测位取放料滑轨(33)间移动；在所述放置座一(3)上设置放料装置一(5)，用于放置晶圆，并对晶圆进行转动定位；在所述检测位取放料滑轨(33)一侧设置取放料装置一(2)，用于从晶圆盒取晶圆并将晶圆放置到放置装置一(5)中或从放置装置一(5)取晶圆并将晶圆放置到晶圆盒中；在所述方向检测架(6)一侧上滑动设置方向检测支架一(7)；在所述方向检测支架一(7)上分别固定设置方向检测光源一(10)和滑动设置方向检测相机架一(8)；在所述方向检测相机架一(8)上设置方向检测相机一(9)；在所述方向检测架(6)另一侧上设置缺陷检测滑轨(17)；在所述缺陷检测滑轨(17)上滑动设置缺陷检测支架(19)；在所述缺陷检测支架(19)上分别固定设置缺陷检测光源(22)和滑动设置缺陷检测相机架(20)；在所述缺陷检测相机架(20)上设置缺陷检测相机(21)；在所述打点架(23)上设置打点滑轨(24)；在所述打点滑轨(24)上滑动设置打点座(25)；在所述打点座(25)上设置打点机(26)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测装置，其特征在于：还包括设置在所述底座(1)上的检测位滑轨二(35)；在所述检测位滑轨二(35)上固定设置检测位移动气缸二(37)；在所述检测位滑轨二(35)和检测位取放料滑轨(33)间滑动设置的放置座二(36)；所述检测位移动气缸二(37)和所述放置座二(36)连接，驱动放置座二(36)在检测位滑轨二(35)和检测位取放料滑轨(33)间移动；在所述放置座二(36)上设置放料装置二(11)，用于放置晶圆，并对晶圆进行转动定位；在所述检测位取放料滑轨(33)另一侧设置取放料装置二(38)，用于从晶圆盒取晶圆并将晶圆放置到放置装置二(11)中或从放置装置二(11)取晶圆并将晶圆放置到晶圆盒中；在所述方向检测架(6)上设置方向检测支架二(13)；在所述方向检测支架二(13)上分别固定设置方向检测光源二(12)和滑动设置方向检测相机架二(14)；在所述方向检测相机架二(14)上设置方向检测相机二(15)；在所述方向检测架(6)上设置缺陷检测气缸(18)；所述缺陷检测气缸(18)和所述缺陷检测支架(19)连接，驱动缺陷检测支架(19)在缺陷检测滑轨(17)上移动；在所述打点架(23)上设置打点气缸(27)；所述打点气缸(27)和所述打点座(25)连接，驱动打点座(25)在打点滑轨(24)上移动。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆检测装置，其特征在于：在所述底座(1)上设置背测光源(28)，在所述底座(1)背面设置背测滑轨(30)；在所述背测滑轨(30)上滑动设置背测相机架(31)；所述背测相机架(31)上设置背测相机(29)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆检测装置，其特征在于：在所述底座(1)背面设置背测气缸(32)；所述背测气缸(32)和所述背测相机架(31)连接，驱动背测相机架(31)在背测滑轨(30)上移动。