[发明专利]存储器结构及其形成方法在审
申请号: | 202210347753.4 | 申请日: | 2022-04-01 |
公开(公告)号: | CN116648054A | 公开(公告)日: | 2023-08-25 |
发明(设计)人: | 吕增富;萧钏林 | 申请(专利权)人: | 南亚科技股份有限公司 |
主分类号: | H10B12/00 | 分类号: | H10B12/00 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 康艳青;王琳 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种存储器结构包括基板、第一字元线沟槽以及形成该第一字元线沟槽中的第一字元线。基板具有多个主动区与围绕主动区的隔离结构。第一字元线沟槽横跨主动区的第一主动区与隔离结构形成。第一字元线沟槽包括第一狭槽与第一槽体。第一狭槽从基板的顶面凹陷。第一槽体从第一狭槽的底部扩展。在第一挟槽的底部与第一槽体的顶部之间连接有第一侧壁。第一字元线包括共形形成于第一槽体与第一狭槽上的栅极介电质。如此,能够避免因非预期元件重叠问题所产生的漏电流。 | ||
搜索关键词: | 存储器 结构 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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