[发明专利]一种基于静电式MEMS可调法珀腔的高光谱成像组件和设备在审
| 申请号： | 202210340825.2 | 申请日： | 2022-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN114964492A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 阿里尔·阿兹;刘栋 | 申请（专利权）人： | 优尼科（青岛）微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/26;G01J3/02 |
| 代理公司： | 青岛鼎丞智佳知识产权代理事务所(普通合伙) 37277 | 代理人： | 王剑伟 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市崂山区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于静电式MEMS可调法珀腔的高光谱成像组件和设备：其中组件包括带通滤光片、带孔遮光板、可调法珀腔芯片组件、多模支撑镜筒、光学镜头、单色成像芯片组件和基座；多模支撑镜筒内从上到下依次形成有与带通滤光片、带孔遮光板和可调法珀腔芯片组件大小形状相适配的支撑台，支撑台之间保持符合光学组件要求的间隔，可调法珀腔芯片组件连接有第一柔性PCB板；多模支撑镜筒固定安装于基座上；光学镜头套设于多模支撑镜筒内腔中并固定安装于基座上，单色成像芯片组件安装于光学镜头的下方并固定安装于基座上，并连接有第二柔性PCB板。本发明使用安装方便，便于组装调试，使通用的摄像头具备多光谱图像采集能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 静电 mems 可调 法珀腔 光谱 成像 组件 设备 | ||
【主权项】：
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