[发明专利]一种金属掺杂二硫化钼耐高温复合薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202210335728.4 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114959558B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 苏峰华;刘勇;孙建芳 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 江裕强 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种金属掺杂二硫化钼耐高温复合薄膜及其制备方法。所述金属掺杂二硫化钼耐高温复合薄膜是利用多靶共溅射的方式制备，先在基底上沉积一层Cr过渡层，然后通过共溅射Cr靶和MoS |
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| 搜索关键词： | 一种 金属 掺杂 二硫化钼 耐高温 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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