[发明专利]一种三维六角元胞结构、制备方法及其器件在审
| 申请号： | 202210327031.2 | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN114883388A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 袁昊;陈利利;汤晓燕;宋庆文;周瑜;刘延聪;陈泽宇;王溶 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/10;H01L29/739;H01L29/78 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 方婷 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三维六角元胞结构，包括：第一导电类型外延区，位于第一导电类型外延区内的第二导电类型阱区，位于第二导电类型阱区内的第一导电类型源区，以及位于第一导电类型源区内的第二导电类型体区；其中，第二导电类型体区为凸起状；且沿六角元胞结构的六个边的垂直方向，第一导电类型外延区、第二导电类型阱区和第一导电类型源区上均设有宽度和高度相同的若干凸起，以分别在每个方向形成若干凸起台面，同时在六角元胞结构上形成相交于第二导电类型体区的六角台面结构。该结构使得器件同时拥有了平行于元胞表面和垂直于元胞表面的两种沟道，从而提升了沟道密度，降低了沟道的导通电阻，提升了器件的通流能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 六角 结构 制备 方法 及其 器件 | ||
【主权项】：
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