[发明专利]蒸镀设备、钙钛矿电池蒸镀方法以及钙钛矿电池在审
| 申请号： | 202210307767.3 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN114645250A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 杨建;王雪戈;吴俊杰;于振瑞;邵君 | 申请（专利权）人： | 无锡极电光能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 徐章伟 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种蒸镀设备、钙钛矿电池蒸镀方法以及钙钛矿电池，该蒸镀设备包括：第一腔体，所述第一腔体内设置有基片支架、抽真空系统以及取片机构；第二腔体，所述第二腔体内设置有蒸镀系统，所述蒸镀系统包括第一坩埚和第二坩埚，所述第一坩埚和所述第二坩埚的加热温度不同，以在所述基片上蒸镀不同材料形成电池片；隔离门，所述隔离门打开时所述第一腔体与所述第二腔体连通，所述取片机构用于传送基片和电池片。由此，上下料均在第一腔室内完成，缩短设备长度，能够实现不间断镀膜，节省成本；第二腔体可同时完成多种材料的蒸镀，使电池片在不破空的条件下完成全部功能层的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 钙钛矿 电池 方法 以及 | ||
【主权项】：
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