[发明专利]一种非对称性诱导室温高灵敏光电探测器件及其制备方法

摘要

本发明提供的一种非对称性诱导室温高灵敏光电探测器件及其制备方法，在覆盖氧化硅的硅衬底上转移硫化钨材料，在硫化钨材料一端上面转移石墨烯材料实现覆盖接触，在覆盖有石墨烯的硫化钨材料一端上面制备接触电极，充当器件一端的接触电极及引线电极；硫化钨材料另一端上面直接制备金属电极或者金属光栅，充当器件另一端的接触电极及引线电极。本发明提供了一种非对称性诱导室温高灵敏光电探测器件，解决常规金属WS2金属器件在均匀全光照射下没有净光响应的问题，同时保留了WS2材料原有的光电特性，使得在室温下高灵敏且多功能性的光电探测具有推广使用价值。