[发明专利]一种基于箱线图的半导体良率最优路径的分析方法在审
| 申请号： | 202210298779.4 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN114841096A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 温志鹏 | 申请（专利权）人： | 上海哥瑞利软件股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/30 | 分类号： | G06F30/30;G06F17/18 |
| 代理公司： | 上海政济知识产权代理事务所(普通合伙) 31479 | 代理人： | 罗子芳 |
| 地址： | 200000 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于箱线图的半导体良率最优路径的分析方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：获取半导体生产的脱敏良率数据，脱敏良率数据包括生产批号、站点、每个站点的机台以及该生产批号对应的良率值；步骤2：对步骤1获取的脱敏良率数据进行格式处理，以表格格式输出脱敏良率数据；步骤3：将步骤2所获得的表格导入，将每一种路径的脱敏良率值分类为一个组，将每个组的良率通过箱线图进行统计展示；步骤4：将箱线图中存在异常值的组进行排除；步骤5：将箱线图中剩余组进行分析，找出中其中良率最高的组，该组对应的路径即为半导体生产的良率最优路径。本发明分析方法具有可快速筛选最优路径的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 线图 半导体 最优 路径 分析 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海哥瑞利软件股份有限公司，未经上海哥瑞利软件股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210298779.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
