[发明专利]一种挡板装置和曝光机有效
| 申请号： | 202210293398.7 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN114859667B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 朱宏伟;王刘飘;肖帆 | 申请（专利权）人： | 江苏友迪激光科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京聚匠知识产权代理有限公司 32339 | 代理人： | 沈菊 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种挡板装置和曝光机，具体涉及曝光机技术领域，包括挡板机构，所述挡板机构包括透光框，透光框的外壁一体成型有呈对称分布的两个卡框，所述透光框、卡框中开设有卡穿槽，所述卡穿槽中滑动卡设有紧密接触的多个挡光框，所述卡框的内上壁固定安装有和挡光框对应的卡座，所述卡座位于对应卡框中，所述卡座的底部固定卡设有内螺管，所述内螺管的中部均螺纹插设有调节螺杆，所述调节螺杆转动卡接在对应卡框中，所述挡光框顶端远离卡框的一侧开设有凹槽，本发明，通过设置挡板机构，灵活改变多个挡光框在透光区域的面积，进而灵活改变光照射区域的面积，从而控制光照射区域的面积，实现部分曝光，并提升了整个挡板装置的挡光灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 挡板 装置 曝光 | ||
【主权项】：
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