[发明专利]一种挡板装置和曝光机有效

专利信息
申请号: 202210293398.7 申请日: 2022-03-24
公开(公告)号: CN114859667B 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 朱宏伟;王刘飘;肖帆 申请(专利权)人: 江苏友迪激光科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 南京聚匠知识产权代理有限公司 32339 代理人: 沈菊
地址: 221000 江苏省徐州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 挡板 装置 曝光
【权利要求书】:

1.一种挡板装置,包括挡板机构(2),其特征在于:所述挡板机构(2)包括透光框(21),所述透光框(21)的外壁一体成型有呈对称分布的两个卡框(22),所述透光框(21)、卡框(22)中开设有卡穿槽(221),所述卡穿槽(221)中滑动卡设有紧密接触的多个挡光框(23),所述卡框(22)的内上壁固定安装有和挡光框(23)对应的卡座(24),所述卡座(24)位于对应卡框(22)中,所述卡座(24)的底部固定卡设有内螺管(241),所述内螺管(241)的中部均螺纹插设有调节螺杆(25),所述调节螺杆(25)转动卡接在对应卡框(22)中,所述挡光框(23)顶端远离卡框(22)的一侧开设有凹槽(231),所述凹槽(231)中固定卡设有吸光框(26),所述吸光框(26)的外壁和挡光框(23)的内壁接触;

所述调节螺杆(25)靠近卡座(24)的一侧端部穿过挡光框(23),所述调节螺杆(25)靠近卡座(24)的一侧端部固定安装有转轮(251);

所述透光框(21)呈口型结构,所述透光框(21)中部为透光区域,所述挡光框(23)远离卡框(22)的一侧延伸进透光区域中。

2.一种曝光机,具有如权利要求1中的所述挡板装置,其特征在于:包括外防护框(1),所述挡板装置通过两侧卡框(22)固定卡接在外防护框(1)的中部,所述外防护框(1)的底部设有输料组件(3),所述输料组件(3)的中部设有起料组件(4),所述起料组件(4)的顶端设有晶片板(8),所述外防护框(1)的内上壁中部固定安装有顶架(5),所述顶架(5)的底端固定安装有曝光机构(6),所述挡板装置和曝光机构(6)的位置竖直对应;

所述输料组件(3)包括输料侧框(31),所述输料侧框(31)设有呈对称分布的两个,所述输料侧框(31)的底端固定安装有输料架(32),所述输料架(32)固定安装在外防护框(1)的内下壁,两个所述输料侧框(31)之间转动卡设有等距离分布的多个输料辊(33),所述输料辊(33)的端部延伸进对应输料侧框(31)中并固定套设有皮带轮(34),多个所述皮带轮(34)的外侧活动套设有传动皮带(35);

所述起料组件(4)包括起料底板(41),所述起料底板(41)位于多个输料辊(33)下方,所述起料底板(41)的四角处均一体成型有起料架(43),所述起料架(43)的顶部穿过输料辊(33),所述起料架(43)的顶端固定安装有防护垫(432),所述晶片板(8)的底端和防护垫(432)的顶端接触,所述起料架(43)的底端开设有伸缩槽(431),所述伸缩槽(431)的底部活动卡设有底柱(44),所述底柱(44)的顶端和伸缩槽(431)的内上壁之间固定安装有弹簧(441),所述底柱(44)的底端固定安装在外防护框(1)的内下壁;

所述起料组件(4)还包括起料底架(42),所述起料底架(42)固定安装在外防护框(1)的内下壁,所述起料底架(42)的顶部转动卡设有驱动轴(45),所述起料底架(42)的一侧固定安装有电机(10),所述电机(10)的驱动端和驱动轴(45)的端部固定安装,所述驱动轴(45)的外侧固定套设有凸轮(46),所述起料底板(41)的底端固定安装有和凸轮(46)配合使用的起料底框(47),所述起料底框(47)的底端开设有和凸轮(46)位置对应的起料槽(471),且凸轮(46)的顶部活动卡接在起料槽(471)中,所述驱动轴(45)远离电机(10)的一端固定安装有第一轴(48),所述起料底架(42)靠近第一轴(48)的一侧转动卡设有第二轴(49),所述第一轴(48)的端部固定安装有第一齿轮(410),所述第二轴(49)的端部固定安装有和第一齿轮(410)啮合连接的第二齿轮(411);

中部位置所述输料辊(33)和第二轴(49)之间固定套设有链轮传动组(9);

所述外防护框(1)外壁靠近挡板装置的一侧固定卡设有观察窗(7);

相邻所述观察窗(7)的外防护框(1)外壁开设有和输料组件(3)对应的导料槽(11),所述输料侧框(31)的两端部分别穿过对应导料槽(11)。

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