[发明专利]研磨垫修整器及化学机械研磨装置在审
| 申请号： | 202210290740.8 | 申请日： | 2022-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN114603483A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 杨俊男 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B37/00;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 刘鑫 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种研磨垫修整器及化学机械研磨装置，研磨垫修整器包括：修整器本体，包括滚筒和布置在滚筒的周向侧面上的修整颗粒，滚筒沿其延伸方向的长度至少为研磨垫的半径，滚筒可转动地设置；修整器本体具有用于压设在研磨垫上的工作位置和与研磨垫分离的初始位置，修整器本体在工作位置和初始位置之间可切换地设置。本发明的研磨垫修整器解决了现有技术中的研磨垫活化不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 修整 化学 机械 装置 | ||
【主权项】：
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