[发明专利]用于膜沉积期间衬底温度控制的双高温计系统

摘要

一种操作反应器系统以提供多区衬底温度控制的方法。该方法包括用第一高温计感测支撑在反应器系统中的衬底的第一区的温度，以及用第二高温计感测衬底的第二区的温度。该方法还包括用控制器将第一和第二区的温度与用于第一和第二区的设定点温度进行比较，并且作为响应，产生控制信号以控制衬底的加热。该方法还包括基于控制信号控制操作成加热衬底的加热器组件的操作。