[发明专利]一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置

摘要

本发明提供一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，涉及晶圆缺陷检测技术领域，包括底座，所述底座的主体为矩形结构，且底座的顶端面上开设有横向槽，并且底座中所开设的横向槽用于滑动连接有移动座，底座的顶端面上固定连接有支架，解决了现有的在进行检测时需要手动对灯罩进行更换，进而会影响对晶圆片的正常观察效率，以及在进行检测工作时手动抓取晶圆调节角度也会存在着难以精确调整的不便的问题，通过主动调整照射灯照射到晶圆之上的角度变化即可对晶圆片的缺陷进行快速的检测工作，该设计通过对晶圆的翻转角度进行精确化的刻度调整，可以使得其在对晶圆的检测工作时更加精确，并且更加准确。