[发明专利]一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置

权利要求书

1.一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的主体为矩形结构，且底座(1)的顶端面上开设有横向槽，并且底座(1)中所开设的横向槽用于滑动连接有移动座(13)，底座(1)的顶端面上固定连接有支架(2)，支架(2)中横向构件的底侧安装有电动推杆A(3)，电动推杆A(3)的底端安装有导座(4)，导座(4)的内部开设有凹槽，且导座(4)中所开设的凹槽内部安装有电动推杆B(5)，电动推杆B(5)的另一端安装有移动块(6)，电动推杆B(5)与移动块(6)共同组成了调节结构。

2.如权利要求1所述一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述移动块(6)的底端安装有照射灯(7)，照射灯(7)用于罩设晶圆，支架(2)的内部安装有电机(8)，电机(8)的底端设置有传动轴，且传动轴穿过支架(2)，并凸出支架(2)，电机(8)的底侧安装有承载架(9)，承载架(9)为十字结构。

3.如权利要求2所述一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述承载架(9)的内部开设有滑槽，且承载架(9)的底端为贯通结构，并且承载架(9)的内部安装有侧板(10)，侧板(10)与承载架(9)之间通过弹簧连接，且侧板(10)中远离承载架(9)的一侧还呈直线阵列安装有导轮(11)，导轮(11)用于导向镜头。

4.如权利要求1所述一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述底座(1)中所开设的横向槽的内部滑动连接有移动座(13)，底座(1)的外侧安装有调节杆(12)，调节杆(12)共设有两处，且两处调节杆(12)分别拧接在底座(1)的左右两侧位置，并且调节杆(12)用于调节移动座(13)在底座(1)中横向槽的位置。

5.如权利要求4所述一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述移动座(13)为内部中空结构，且移动座(13)的外侧开设有通槽，并且移动座(13)的内部插接有支撑杆(14)，支撑杆(14)的内部呈直线阵列开设有通孔，并且支撑杆(14)中所开设的通孔用于安装限位销，支撑杆(14)的内部转动连接有角度杆(15)。

6.如权利要求5所述一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述角度杆(15)的一侧安装有限位架(16)，限位架(16)用于限位晶圆，且每处限位架(16)的内部呈对向安装有两处限位气囊(17)，限位气囊(17)用于限位晶圆，限位架(16)的顶端安装有泵机(18)，泵机(18)用于向限位气囊(17)供气。