[发明专利]一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置

说明书

本发明提供一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，涉及晶圆缺陷检测技术领域，包括底座，所述底座的主体为矩形结构，且底座的顶端面上开设有横向槽，并且底座中所开设的横向槽用于滑动连接有移动座，底座的顶端面上固定连接有支架，解决了现有的在进行检测时需要手动对灯罩进行更换，进而会影响对晶圆片的正常观察效率，以及在进行检测工作时手动抓取晶圆调节角度也会存在着难以精确调整的不便的问题，通过主动调整照射灯照射到晶圆之上的角度变化即可对晶圆片的缺陷进行快速的检测工作，该设计通过对晶圆的翻转角度进行精确化的刻度调整，可以使得其在对晶圆的检测工作时更加精确，并且更加准确。

技术领域

本发明属于晶圆缺陷检测技术领域，更具体地说，特别涉及一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置。

背景技术

高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，而其在进行生产的过程中因工艺的差别会产生一些表面缺陷，需要灯光照射后进行检测。

而现有的检测装置多为需要人工对照射灯更换不同颜色的灯罩来实现照射灯发射出白光或黄绿光等检测光照射到晶圆之上，并通过手动握持晶圆片后翻转不同的角度改变光照对晶圆片的照射角度才能进行检测工作，但由于其在进行检测时需要手动对灯罩进行更换，进而会影响对晶圆片的正常观察效率，以及在进行检测工作时手动抓取晶圆调节角度也会存在着难以精确调整的不便。

于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，以解决现有的在进行检测时需要手动对灯罩进行更换，进而会影响对晶圆片的正常观察效率，以及在进行检测工作时手动抓取晶圆调节角度也会存在着难以精确调整的不便的问题。

本发明一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

一种基于自动光学检测的晶圆缺陷检测装置，包括底座，所述底座的主体为矩形结构，且底座的顶端面上开设有横向槽，并且底座中所开设的横向槽用于滑动连接有移动座，底座的顶端面上固定连接有支架，支架中横向构件的底侧安装有电动推杆A，电动推杆A的底端安装有导座，导座的内部开设有凹槽，且导座中所开设的凹槽内部安装有电动推杆B，电动推杆B的另一端安装有移动块，电动推杆B与移动块共同组成了调节结构。

进一步的，所述底座中所开设的横向槽的内部滑动连接有移动座，底座的外侧安装有调节杆，调节杆共设有两处，且两处调节杆分别拧接在底座的左右两侧位置，并且调节杆用于调节移动座在底座中横向槽的位置。

进一步的，所述移动座为内部中空结构，且移动座的外侧开设有通槽，并且移动座的内部插接有支撑杆，支撑杆的内部呈直线阵列开设有通孔，并且支撑杆中所开设的通孔用于安装限位销，支撑杆的内部转动连接有角度杆。

进一步的，所述移动块的底端安装有照射灯，照射灯用于罩设晶圆，支架的内部安装有电机，电机的底端设置有传动轴，且传动轴穿过支架，并凸出支架，电机的底侧安装有承载架，承载架为十字结构。

进一步的，所述角度杆的一侧安装有限位架，限位架用于限位晶圆，且每处限位架的内部呈对向安装有两处限位气囊，限位气囊用于限位晶圆，限位架的顶端安装有泵机，泵机用于向限位气囊供气。

进一步的，所述承载架的内部开设有滑槽，且承载架的底端为贯通结构，并且承载架的内部安装有侧板，侧板与承载架之间通过弹簧连接，且侧板中远离承载架的一侧还呈直线阵列安装有导轮，导轮用于导向镜头。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：