[发明专利]一种研磨盘平面度的检测方法、装置、设备和存储介质有效
| 申请号： | 202210240436.2 | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN114659474B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 胡中伟;陆涵钧;赖志远;崔长彩;于怡青;徐西鹏 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B5/28;G01B21/30 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 陈晓思 |
| 地址： | 362000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种研磨盘平面度的检测方法、装置、设备和存储介质，涉及平面度测量技术领域。其中，这种检测方法包含步骤S1至步骤S5。S1获取研磨盘的N条径向测量数据。S2分别消除N条径向测量数据的机械误差，以获得N条初始数据。S3根据N条初始数据，分别将各个磨块的高度信息均值化，并删除非磨块的高度信息，以获得N条磨块表面高度数据。S4分别缩放N条磨块表面高度数据至相同的数据长度，然后计算平均值，以获得磨盘径向高度数据。S5根据磨盘径向高度数据进行三维重构，以获得研磨盘的面型模型。采用本发明的检测方法能够根据测量到的高度数据快速计算得到研磨盘的表面模型，从而快速识别研磨盘的平面度，具有很好的实际意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 平面 检测 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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