[发明专利]微流道的激光直写分析方法、加工方法、设备及存储介质在审
| 申请号： | 202210232130.2 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN114734147A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 曹明轩;张彦军;臧鲁浩;刘浩;杨军红;王敏;王俊超;甘宏海;陶宏伟;王颖 | 申请（专利权）人： | 五邑大学;广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/70;G01B11/30;G01B11/24 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 陈春芹 |
| 地址： | 529000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微流道的激光直写分析方法、加工方法、设备及存储介质，方法包括：通过皮秒超快激光系统根据多个测试加工参数加工第一测试芯片，得到多个第一测试微流道；从多个第一测试微流道对应的测试加工参数中，确定定量参数；通过皮秒超快激光系统根据多个填充参数和定量参数加工第二测试芯片，得到多个第二测试微流道；获取每一第二测试微流道的粗糙度数据；根据多个粗糙度数据及对应的填充参数，得到粗糙度调节关系。本发明通过先对测试加工参数进行测试筛选，再根据填充参数以及筛选出的定量参数进行测试分析，最终得到的粗糙度调节关系能够供皮秒超快激光系统进行可控性强的微流道加工，对应关系可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 微流道 激光 分析 方法 加工 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于五邑大学;广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院，未经五邑大学;广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210232130.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
