[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202210230498.5 | 申请日: | 2022-03-10 |
公开(公告)号: | CN115835632A | 公开(公告)日: | 2023-03-21 |
发明(设计)人: | 末光凉;大桥贵志 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H10B41/30 | 分类号: | H10B41/30;H10B41/20;H10B43/20;H10B43/30 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 牛玉婷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 实施方式提供适于适当地形成孔的半导体装置。根据一个实施方式,提供具有基板、层叠体、多个柱状半导体、半导体层和导电部的半导体装置。层叠体配置于基板的上方。层叠体是多个导电层隔着绝缘层层叠而成的。多个柱状半导体分别将层叠体贯通。半导体层配置于基板的上方。半导体层与柱状半导体的底部连接。半导体层在与层叠体相邻的区域具有槽图案。导电部在区域填满槽图案,与半导体层的侧面接触。导电部将半导体层与基板电连接。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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