[发明专利]一种基于二硒化钨和IEICO-4F的异质结结构及光电探测器、及其制备在审
申请号: | 202210228997.0 | 申请日: | 2022-03-08 |
公开(公告)号: | CN114613911A | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | 徐明生;陈叶馨;朱清海 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01L51/46 | 分类号: | H01L51/46;H01L51/42;H01L51/48 |
代理公司: | 杭州坚果知识产权代理事务所(普通合伙) 33366 | 代理人: | 张剑英 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于二硒化钨和IEICO‑4F的异质结结构及光电探测器、及其制备,通过化学气相沉积法在硅衬底上合成单层二硒化钨薄膜,再通过旋涂工艺在二硒化钨薄膜上制备出IEICO‑4F层。该异质结能带呈II型(交错)排列,有利于快速分离因入射光所生成的光生载流子而形成光电流,且随着有机半导体层厚度增加,二硒化钨的光致发光峰显著淬灭,器件表现出更加优异的光响应特性。该异质结及其光电探测器的制备方法简单、成本低、兼容硅工艺。由该异质结结构组成的光电探测器具有高响应率、高探测率、高稳定性、宽光谱响应等优异特性,这为新一代基于二硒化钨的光电探测器提供新的指导意义。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 二硒化钨 ieico 异质结 结构 光电 探测器 及其 制备 | ||
【主权项】:
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