[发明专利]一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法在审
| 申请号： | 202210226545.9 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN114584100A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 王友良;杨清华 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨义 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法。该体声波谐振器的制备方法包括：提供衬底，其中，衬底的表面或者内部设置有声反射结构；在衬底之上依次形成下电极、压电层和上电极；在上电极背离压电层的表面形成掩膜层，其中，掩膜层设置有框架结构窗口，框架结构窗口包括第一窗口；形成凸起结构膜层，其中，凸起结构膜层位于掩膜层的表面以及上电极上第一窗口内，位于上电极上第一窗口内的凸起结构膜层为凸起结构；去除掩膜层以及掩膜层表面的凸起结构膜层。本发明实施例提供的技术方案，简化了体声波谐振器的制备工艺，降低了制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 制备 方法 以及 滤波器 | ||
【主权项】：
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