[发明专利]一种RGB集成的微米LED晶体管显示的制作过程在审
| 申请号： | 202210225386.0 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN115548172A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 杨韬 | 申请（专利权）人： | 杨韬 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/44;H01L33/62;H01L27/15 |
| 代理公司： | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人： | 张彦 |
| 地址： | 264200 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种RGB集成的微米LED晶体管显示的制作过程，属于晶体管技术领域，旨在解决目前RGB三色的集成时加工工艺复杂，实现难度大，加工成本较高，存在色彩失真，整个光学系统的体积和重量较大，发光效率较低，无法实现高清的问题。通过利用patterning+selective growth的方法集成RGB(红，绿，蓝光)器件，整个工艺流程和结构都比较简单，成本低，集成度高，而且器件是由patterned dielectric和晶体生长决定的，而不是传统的刻蚀，所以没有由刻蚀而造成的表面损伤，器件的表现会更好，外量子效率会更高，同时利用晶体外延技术，红光LED材料会有更多选择，器件也可以做得更小，并且是完整的RGB集成方案，还可以实现200mm与300mm，300mm与300mm等键合，非常灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 rgb 集成 微米 led 晶体管 显示 制作 过程 | ||
【主权项】：
暂无信息
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