[发明专利]用于标记用于摄谱监测的机器学习系统的训练光谱的原位监测在审
| 申请号： | 202210210644.8 | 申请日： | 2022-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN115099386A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | T·李;B·切里安 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G06N3/04 | 分类号： | G06N3/04;G06N3/08;G06K9/62;G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种训练用于摄谱监测的神经网络的方法包括：抛光测试基板；在测试基板的抛光期间，由原位摄谱监测系统测量从基板反射的光的测试光谱序列并由原位非光学监测系统测量来自基板的测试值序列；测量在抛光之前基板的初始特征值或在抛光之后基板的最终特征值中的至少一者；将测试值序列和初始特征值和/或最终特征值输入到厚度预测模型中，该厚度预测模型输出训练值序列，其中该训练值序列中的每个相应训练值与来自测试光谱序列的相应测试光谱相关联；以及使用多个测试光谱和多个训练值来训练人工神经网络。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 标记 监测 机器 学习 系统 训练 光谱 原位 | ||
【主权项】：
暂无信息
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